东京精密E-TS-1070B 精度演算误差
点击次数：1207&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;更新时间：2023-04-28
东京精密E-TS-1070B 精度演算误差方式介绍
１．在G1?G2接触子间放入微动台。
２．先移动G1接触子、控制部指示値为行程量的一半时，（－210～－220μｍ）固定接触子。
３．然后移动G2接触子、控制部指示値为０μｍ时固定接触子。
４．微动台朝返回方向返回100μｍ(－100μｍ)、确认控制部&苍产蝉辫;指示値。
５．微动台至进给原位置（零位置）、确认控制部 指示値为0μm〔注１〕。
６．微动台在进给方向进给100μm(＋100μm)、确认控制部指示値。
&苍产蝉辫;７．微动台回到原位置（零位置）、确认控制部指示値为0μm〔注１〕。
８．0μm→－100μm的指示値与0μm→＋100μm的指示値不超过1.5μm。
&苍产蝉辫;９．0μm→－100μm的指示値与0μm→＋100μm的指示値的差超过1.5μm时需再调整、重复[１．]～[８．]的作业。不超过时进行接下来的检查。
〔注１〕&苍产蝉辫;微动台在原位置（零位置）时、控制部指示値不为0μm时、需调整接触子重复〔４．〕～〔６．〕的作业。
※&苍产蝉辫;为减少演算误差需进行绞合线单体感度测量（别纸）。
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